铜厚测量仪主要是用来测量孔铜和面铜的厚度。一般厂内使用的CMI700系列铜厚测量仪产品是基材表面覆盖层厚度测量仪器，它是为精确测量不同基材上的各种涂镀层而设计的。

1、检定条件：

室内温度20±5℃；空气相对湿度≤85%R.H。保证无显著振动或强磁场干扰。

2、检定顶目：

注：表中“+”表示应检定；“-”表示可不检定。

3、校正方法：

① ETP探头的校准：在主面面下，按SETUP键，进入安装界面；按CAL&TURNING键，进入校准界面；

按CAL ETP键，进行ETP探头校准；把探头放于空气中，按键；选择校准时测量标准片的次数，然后把探头放在标准片上，按键。选择单位，输入标准片孔铜的厚度，按键确认。校准完毕，按键，返回到主页面。

② SRP探头的校准：

在测量界面下按键进入校准界面；在校准界面下按显示屏幕所示的STD1键，进行第一块标准片校准，把探头放于第一块标准片上，按 键，输入第一块标准片铜箱的厚度，按   确定；每一块校准完成后，按屏幕所示的STD2键，进入第二块标准片校准，把探头放于第二块标准片上，按键，输入第二块标准铜箔厚度，按键确定。

第二块标准片校准完成后，按屏幕所示DONE完成校准。

③ 注意事项：SRP探头可测量不同线宽的铜箔厚度。但需要测量某线宽的铜箔时，必须用相同线宽的标准片进行校准，否则会出现很大的误差。

④ CMI700系列产品自带的标准孔铜规格：

A、面铜厚62mil(1574μm)，孔内壁铜厚1.5mil(38.4μm)

B、CMI700系列产品自带的标准面铜规格：

标准片1 CF-4757  0.06mil(17.0μm)

标准片2 CF-4172  2.63mil(66.8μm)

4、示值误差:

校准完毕后，开始测量。分别测量若干已知值的孔铜和面铜厚度，记录示值，并记算误差，误差值不超过±2μm。

5、检定结果处理：

检定合格，填写《仪器校正报告》;检定不合格，则填写《量规仪器报废记录表》，交主管审核，记录保存1年。

6、 检定周期：

视使用情况而定，一般周期为一年。