产品用途 Product Use

赛默飞扫描电子显微镜广泛应用于广泛应用于各行各业，如:科研、学院、动植物学、材料学、考古学、地质矿物学化学、物理学、刑侦学、食品行业、冶金行业、半导体行业、电子行业、生物制药行业、环保行业、新能源等等。

产品特点及参数 Product Features And Parameters

◆采用最快的元素分析方法，并具有独特的实时定量成分成像。

◆系统始终处于对中状态且随时可成像，聚焦到数据采集上。

◆根据用户需求所设计可以快速获取结果。

◆灵活的载物台最多可承载 10 kg 的样品。

◆在 Axia ChemiSEM 的优异成像性能支持下处理困难的任务。

◆高真空成像-3.0 nm @ 30 kV(SE)/4.0 nm@ 30 kV (BSE)-8.0 nm @ 3 kV(SE)。

◆电子束减速模式下高真空成像-7.0nm@ 3 kV(BD mode*+ BSED)。

◆类型:五轴驱动样品台。

◆XY:120x120mm，可重复性:<5.0um(0°倾斜下)。

◆Z轴驱动行程:55 mm，旋转:nx360°倾斜:-15°/+90°。

◆最大样品高度:-分析工作距离(10mm)下72mm，无样品台-分析工作距离(10mm)下128mm，拆下ZTR轴，

◆最大样品质量:-5009，样品台任意位置-最高10k9，拆掉 ZTR 轴时。

◆最大样品尺寸:-可沿X、Y轴完全移动、旋转并且无倾斜时直径为138 mm(若样品超过此限值，则载物台行程或旋转受限)。

◆低真空成像-3.0nm @ 30 kV(SE)/4.0 nm@ 30 kV(BSE)-10 nm @ 3 kV(SE)。