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COXEM EM-30高分辨台式扫描电镜打破了传统台式电镜采用BSD 探测器成像的局限性,利用创新的双聚光镜成像技术,采用大型扫描电镜成像原理,使用二次电子探测器作为基础成像单元,从而可以获得更高的分辨率(5<nm) 。同时可以配备EDS、冷台、 STEM 等附件设备,成为真正意义上的分析平台型高分辨台式扫描电镜。

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